[发明专利]用于压缩扫描电子显微术的系统和方法在审
| 申请号： | 201480058745.1 | 申请日： | 2014-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN105745736A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 布赖恩·W·里德 | 申请（专利权）人： | 劳伦斯·利弗莫尔国家安全有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李春晖;李德山 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种扫描透射电子显微术(STEM)系统。该系统利用电子束扫描系统，该电子束扫描系统被配置为在基本上整个样本之上产生多次电子束扫描，其中每次扫描都在扫描行程中改变电子照明强度。信号采集系统可以被用来从扫描中获得图像、衍射图案或光谱中至少之一，图像、衍射图案或光谱仅表示来自包括图像的所有像素位置的选定子集或线性组合中至少之一的信息。可以根据信息生成数据集。子系统可以被用来对数据集进行数学分析以预测实际信息，该实际信息是图像的每个像素位置会产生的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压缩 扫描 电子 显微 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描透射电子显微术(STEM)系统，包括：电子束扫描系统，其被配置为在基本上整个样本之上产生多次电子束扫描，其中每次所述扫描都在扫描行程中改变电子照明强度；信号采集系统，其用于从所述扫描中获得图像，其中所述图像仅表示来自包括所述图像的所有像素的选定子集或线性组合中至少之一的信息，以及用于根据所述信息生成数据集；以及子系统，其用于对所述数据集进行数学分析以预测实际信息，其中所述实际信息是在常规STEM采集中每个像素会产生的信息。
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