[发明专利]红外线检测元件有效
申请号: | 201480059033.1 | 申请日: | 2014-10-31 |
公开(公告)号: | CN105684164B | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 三嶋飞鸟;押村吉德 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | H01L31/10 | 分类号: | H01L31/10 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种红外线检测元件。该红外线检测元件具备缓冲层(InAsSb层)(3)、缓冲层(InAs层)(4)、及光吸收层(InAsSb层)(5)。InAs层的临界膜厚hc与InAs层的厚度t满足hc<t的关系。在该情况下,可以改善形成于缓冲层(3)上的InAs的缓冲层(4)及InAsSb的光吸收层(5)的结晶性。 | ||
搜索关键词: | 红外线 检测 元件 | ||
【主权项】:
一种红外线检测元件,其特征在于,所述红外线检测元件具备:第1InAsSb层;InAs层,其生长于所述第1InAsSb层上;及第2InAsSb层,其生长于所述InAs层上,所述InAs层的临界膜厚hc与所述InAs层的厚度t满足hc<t的关系,所述第1InAsSb层及所述第2InAsSb层中的As的组成比X分别为0.7以上且0.9以下。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
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