[发明专利]多晶硅的制备方法有效
| 申请号： | 201480059376.8 | 申请日： | 2014-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN105829246B | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | H·沃赫纳 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027;C01B33/035;F24F3/16 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 彭丽丹,过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备多晶硅的方法，所述方法包括使多晶硅沉积于载体上，以获得多晶硅棒，或使多晶硅沉积于硅粒子上，以获得多晶硅颗粒，其中每种沉积都在位于1‑100000级的洁净室中的反应器中进行，其中将经过滤的空气通入到所述洁净室中。为了过滤，首先使所述空气由至少一个除去大于或等于1μm的粒子的过滤器中通过，然后由除去小于1μm的粒子的HEPA过滤器中通过。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种制备多晶硅的方法，所述方法包括使多晶硅沉积于至少一个载体上，以获得至少一个多晶硅棒，或者使多晶硅沉积于硅粒子上，以获得多晶硅颗粒，其中每种沉积都在设置于1至100000级的洁净室内的反应器中进行，其中将经过滤的空气通入到所述洁净室中，其中所述空气是通过以下方法过滤的：首先使其由聚丙烯制成的G4级的粗粉尘过滤器和由合成聚酯材料制成的M6级的细粉尘过滤器中通过，其中所述粗粉尘过滤器和细粉尘过滤器的过滤垫含有少于0.1重量％的硼和磷以及少于0.01重量％的砷和铝。
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