[发明专利]使用斜切衬底的高功率氮化镓电子器件有效
申请号: | 201480060457.X | 申请日: | 2014-11-03 |
公开(公告)号: | CN105765725B | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | I·C·克孜勒亚尔勒;D·P·博尔;T·R·普朗蒂;叶刚锋 | 申请(专利权)人: | 新时代电力系统有限公司 |
主分类号: | H01L29/04 | 分类号: | H01L29/04;H01L21/20 |
代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 林祥 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种电子器件包括:III‑V族衬底,其具有同质晶体结构和关于生长面的法线,该关于生长面的法线相对于<0001>方向的取向偏差在0.15°与0.65°之间。该电子器件还包括联接到III‑V族衬底的第一外延层和联接到第一外延层的第二外延层。该电子器件还包括电接触衬底的第一接触件和电接触第二外延层的第二接触件。 | ||
搜索关键词: | 使用 斜切 衬底 功率 氮化 电子器件 | ||
【主权项】:
一种电子器件,包括:III‑V族衬底,具有同质晶体结构和关于生长面的法线,该关于生长面的法线相对于<0001>方向的取向偏差在0.15°与0.65°之间;第一外延层,联接到所述III‑V族衬底;第二外延层,联接到所述第一外延层;第一接触件,电接触所述衬底;以及第二接触件,电接触所述第二外延层。
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