[发明专利]阀装置

摘要

本发明的阀装置具有：设置于流路块(20)内的凹部(22)、通过覆盖凹部(22)而形成供流体流动的阀室(21)的隔膜、在凹部(22)开口并且使流体流入阀室(21)的流入端口(23)、在凹部(22)开口并且使流体从阀室(21)流出的NC流出端口(24)以及NO流出端口(25)，通过使隔膜摆动，而使隔膜与NC流出端口(24)的开口(24a)形成的第一阀座(24b)以及NO流出端口(25)的开口(25a)形成的第二阀座(25b)中的任一个紧贴，由此使阀室(21)的流体从另一个流出端口流出。凹部(22)具有深度从第一阀座(24b)以及第二阀座(25b)朝向流入端口(23)的流入开口(23a)逐渐增加的第一倾斜部(81)以及第二倾斜部(82)。

主权项

1.一种阀装置，具有：凹部，其设置于外壳内；隔膜，其通过覆盖所述凹部而在与所述凹部之间形成作为供流体流动的空间的阀室；流入端口，其在所述凹部开口并且使流体流入所述阀室；流出端口，其在所述凹部开口并且使流体从所述阀室流出；以及隔膜驱动单元，其通过使所述隔膜摆动，而使所述隔膜紧贴或者离开所述流出端口的开口形成的阀座，由此关闭或者开放所述流出端口，所述阀装置的特征在于，所述凹部具有倾斜部，该倾斜部的深度从所述阀座侧朝向所述流入端口与所述阀室连通的流入开口而逐渐增加，所述阀室具有：所述流出端口以及所述流入端口排列的纵向、和与所述纵向以及所述深度的方向正交的宽度方向，在所述流入开口的宽度方向的两侧设置第一凸部，由此所述倾斜部成为宽度从所述流入开口朝向所述阀座逐渐增加的锥状，所述流出端口包括：第一流出端口，其具有在所述纵向上配置在所述流入端口的一侧的第一流出开口；以及第二流出端口，其具有在所述纵向上配置在所述流入端口的另一侧的第二流出开口，所述第一流出开口和所述第二流出开口被所述隔膜交替地关闭，但所述流入端口的流入开口总是开放，所述第一凸部的流入开口侧的端部即所述宽度方向的内端部与流入开口分离，还具备第二凸部，该第二凸部从流入开口朝向各流出开口，一边使向所述隔膜侧突出的突出量逐渐增加、一边延伸。