[发明专利]包括用于对耐受温度变化的粘合剂层进行控制的结构的压力传感器有效
| 申请号： | 201480061385.0 | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN105705926B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | S·布里达;大卫·塞耶 | 申请（专利权）人： | 奥克西特罗股份公司 |
| 主分类号： | G01L19/14 | 分类号： | G01L19/14;G01L19/04 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 徐川;姚开丽 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压力传感器，其包括敏感元件、外壳、中间结构以及粘合剂层，该敏感元件包括安装衬底，该安装衬底包括顶面和底面，该敏感元件还包括可形变膜片，该可形变膜片被连接至所述安装衬底的顶面；该敏感元件被放置在所述外壳中，所述外壳包括基底；所述中间结构被放置在所述外壳的基底和所述安装衬底之间，所述中间结构包括基底，该基底包括顶面和底面，该底面被连接至所述外壳的基底，所述中间结构被配置成使得所述安装衬底与所述中间结构的顶面之间保持预定的距离；所述粘合剂层在所述中间结构的顶面上延展。所述粘合剂层的厚度由所述安装衬底与所述中间结构的顶面之间所保持的预定的距离来控制。本发明还涉及一种用于制造所述压力传感器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 中间结构 顶面 基底 敏感元件 粘合剂层 压力传感器 底面 可形变膜 耐受 延展 配置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，包括：敏感元件(1)，该敏感元件(1)包括安装衬底(11)，该安装衬底(11)包括顶面(11a)和底面(11b)，所述敏感元件(1)进一步包括可形变膜片(10)，该可形变膜片(10)被连接至所述安装衬底(11)的所述顶面(11a)；外壳(2)，所述敏感元件(1)被放置在该外壳(2)中，该外壳包括基底(21)；中间结构(4)，其被布置在所述外壳(2)的所述基底(21)与所述安装衬底(11)之间，所述中间结构(4)包括基底(41、41d)，该基底(41、41d)包括顶面(41a)和被连接至所述外壳的所述基底(21)的底面(41b)，所述中间结构(4)进一步包括多个楔形体(42、43、44、45)，该多个楔形体(42、43、44、45)被布置成使所述安装衬底(11)与所述基底(41、41d)的所述顶面(41a)之间保持预定的距离(d)，所述多个楔形体在所述安装衬底(11)与所述中间结构(4)中间限定了自由空间(40)；粘合剂层(3)，其在所述基底(41、41d)的所述顶面上延展以使得所述多个楔形体被布置在所述粘合剂层周围，所述粘合剂层(3)的厚度(e)由所述安装衬底(11)与所述基底(41、41d)的所述顶面之间的所述预定的距离(d)来控制。
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