[发明专利]用于自动调整配给器的配给单元的方法和设备

摘要

一种配给设备包括框架以及第一和第二配给单元，所述框架具有构台，所述构台被配置以提供在X轴和Y轴方向上的移动，所述第一和第二配给单元被连接到所述构台并且被配置以配给材料到衬底上。所述第二配给单元通过自动调整机构连接到所述构台。所述配给设备进一步包括控制器，所述控制器被配置以控制所述构台、所述第一配给器、所述第二配给器和所述自动调整机构的操作。所述自动调整机构被配置以在X轴和Y轴方向上移动所述第二配给器，以操控所述第一配给单元和所述第二配给之间的间距。进一步公开在所述衬底上配给材料的方法。

主权项

1.一种配给设备，包括：框架；构台，所述构台被连接到所述框架，所述构台被配置以提供在X轴方向和Y轴方向上的移动,所述构台包括第一侧轨、第二侧轨以及在所述第一侧轨和所述第二侧轨之间延伸的梁，所述梁被配置为在所述Y轴方向上沿着所述第一侧轨和所述第二侧轨移动，以实现Y轴移动，所述构台进一步包括安装在所述梁上的运输装置，所述运输装置被配置为在所述X轴方向上沿着所述梁的长度移动；支撑部，所述支撑部被连接到所述框架，所述支撑部被配置以支撑在所述构台下方的至少一个电子衬底；第一配给器，所述第一配给器被连接到所述运输装置，所述第一配给器被配置以配给材料；第二配给器，所述第二配给器通过自动调整机构连接到所述运输装置，所述第二配给器被配置以配给材料；成像器，所述成像器被连接到所述框架和所述构台中的一个，所述成像器被配置以捕捉电子衬底的第一图案和第二图案的至少一张图像，所述第二图案是与所述第一图案相同的；以及控制器，所述控制器被配置以控制所述运输装置、所述第一配给器、所述第二配给器、所述自动调整机构和所述成像器的操作，其中所述自动调整机构被配置以在所述第一配给器和所述第二配给器在所述电子衬底上配给材料的配给操作过程中，在所述X轴方向和所述Y轴方向上移动所述第二配给器，以操控和调整所述第一配给器和所述第二配给器之间的间距，并且其中所述自动调整机构包括被固定到所述运输装置的线性轴承、被连接到所述第二配给器并被配置以沿所述线性轴承跨设的安装部块、以及第一线性驱动电动机组件，所述第一线性驱动电动机组件被配置以使所述安装部块沿所述线性轴承移动。