[发明专利]梯度薄膜

摘要

一种物品及生产所述物品的方法和系统，所述物品包含自物品表面起一定厚度的第一膜，所述第一膜相对于所述物品的表面在垂直和/或水平方向上在至少一部分所述厚度的第一膜内具有梯度化学组成。

主权项

一种用于制造多层梯度组成薄膜的方法，所述方法包括：将至少一种化学前体引入到等离子体中，其中，所述引入包括第一化学前体和不同于所述第一化学前体的至少一种其它化学前体；沉积一定厚度的第一膜至衬底的表面，所述第一膜具有来源于所述至少一种化学前体的化学组成；修改在沉积一定厚度的第一膜期间与所述至少一种化学前体的沉积相关的至少一个等离子体相关的工艺参数，所述工艺参数是选自由等离子体功率、载气流速、前体温度、鼓泡器流速、稀释流速或相对于所述衬底的等离子体头垂直位置组成的组中的一个或多个参数；相对于所述衬底在垂直方向上或在垂直和水平方向上独立或组合地改变至少一部分所述厚度的第一膜的化学组成；在所述第一膜中沉积一定厚度的至少部分来源于第二化学前体的第二膜，所述第二膜的化学组成不同于所述第一膜，至少一部分所述第二膜相对于所述衬底表面在水平、垂直或水平和垂直方向上与所述第一膜空间分离；和提供所述第一膜和所述第二膜之间的界面，所述界面包含所述第一膜的元素组成相对于所述第二膜的变化，其中，相对于所述衬底表面，所述界面在所述第一膜的垂直截面和所述第二膜的垂直截面之间。