[发明专利]束传输设备和方法有效
| 申请号： | 201480063035.8 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN105745579B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | V·班尼恩;P·巴特瑞;R·范格尔库姆;L·阿门特;彼得·德亚格尔;G·德维里斯;R·栋克尔;W·恩格尔伦;O·弗里基恩斯;L·格瑞米克;A·卡塔伦尼克;E·鲁普斯特拉;H-K·尼恩惠斯;A·尼基帕罗夫;M·瑞肯斯;F·詹森;B·克鲁兹卡 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G21K1/06;H01S3/09;H05H7/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种在光刻系统内使用的传输系统。所述束传输系统包括光学元件，所述光学元件被布置成接收来自辐射源的辐射束并且沿着一个或多个方向反射辐射的部分以形成用于供给到一个或多个工具的一个或多个分支辐射束。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在光刻系统内使用的束分裂设备，包括：多个静态反射镜，每个所述多个静态反射镜被布置成接收来自辐射源的第一辐射束的不同部分并且沿着多个方向中的一个方向反射辐射的相应部分以形成用于供给到多个工具的多个分支辐射束，其中所述多个方向中的每一个方向提供相应的分支光学路径，每一分支光学路径与所述多个工具中的相应一个相关联，且至少一个分支光学路径与多个所述静态反射镜相关联以使得至少一个分支辐射束包括多个分别被不同的静态反射镜所反射的部分，且其中所述至少一个分支辐射束中的每个分支辐射束由第一辐射束的不同部分形成。
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