[发明专利]外观检查装置及外观检查方法有效
申请号: | 201480063618.0 | 申请日: | 2014-01-08 |
公开(公告)号: | CN106030240B | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 铃木芳邦 | 申请(专利权)人: | 雅马哈发动机株式会社 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01N21/956;H05K3/34 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 穆德骏;谢丽娜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供外观检查装置及外观检查方法,能够恰当地判断焊料的状态是否良好。具体而言,在这些外观检查装置及外观检查方法中,探索焊料(B)的表面(Bs)存在的倾斜(凹倾斜区域(Gc)),基于其结果来判断焊料(B)的状态是否良好。通过这样不基于焊料(B)的高度而是基于焊料(B)的表面(Bs)的倾斜,能够恰当地判断焊料(B)的状态是否良好。 | ||
搜索关键词: | 外观 检查 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种外观检查装置,具备:计测部,计测将元件接合于基板上的焊料的表面的三维形状;及控制部,所述控制部基于所述三维形状的计测结果,从所述焊料的所述表面探索所述焊料的所述表面与所述基板的距离随着接近所述元件而变小的倾斜区域Gc,基于探索所述倾斜区域Gc所得的所述倾斜区域Gc的面积,判断所述焊料的状态是否良好。
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