[发明专利]胺取代的三甲硅烷基胺和三-二甲硅烷基胺化合物

摘要

本发明描述了不含卤素的被胺取代的三甲硅烷基胺和三‑二甲硅烷基胺化合物以及它们的制备方法，其中相应未取代的三甲硅烷基胺和胺在过渡金属催化剂的催化下进行脱氢偶联反应。这种新方法是基于Si‑H和N‑H结构部分的催化脱氢偶联以形成含Si‑N的化合物和氢气。此方法可以用过渡金属多相催化剂催化，例如负载在碳上的Ru(0)、负载在MgO上的Pd(0)，以及用作均相催化剂的过渡金属有机金属络合物。含‑Si‑N的产物是不含卤素的。这些化合物可以用于通过化学气相沉积方法沉积薄膜，或通过原子层沉积方法沉积含Si膜。

主权项

1.一种具有下式的化合物：其中n＝1‑3；m＝0‑3；k＝0‑3；R¹、R³和R⁵独立地选自H，直链或支化的C₁‑C₆烷基，直链或支化的C₁‑C₈链烯基，直链或支化的C₁‑C₈炔基，C₆‑C₁₀芳基，直链或支化的C₁‑C₆烷基醚，甲硅烷基，三甲基甲硅烷基，或被直链或支化C₁‑C₆烷基取代的甲硅烷基；R²、R⁴和R⁶独立地选自直链或支化的C₁‑C₆烷基，直链或支化的C₁‑C₈链烯基，直链或支化的C₁‑C₈炔基，C₆‑C₁₀芳基，直链或支化的C₁‑C₆烷基醚，甲硅烷基，三甲基甲硅烷基，或被直链或支化C₁‑C₆烷基取代的甲硅烷基；R¹R²N、R³R⁴N和R⁵R⁶N可以是独立地选自以下的环状仲胺：氮丙啶、氮杂环丁烷、哌啶、吡咯烷、吡咯、咪唑、吡唑、吲哚或所述环状仲胺的任何在碳上被取代的衍生物；并且不包括具有式C₁₈H₄₈N₄Si₃、C₁₅H₄₁N₃Si₃、C₆H₂₁NSi₃和C₇H₂₃NSi₃或[(SiH₃)₂N]₂SiH₂的化合物。