[发明专利]半导体基板的制造方法、半导体基板、太阳能电池元件的制造方法及太阳能电池元件

摘要

通过第一扩散工序和第二扩散工序而在一个半导体基板的不同部位形成n型扩散层和p型扩散层。在第一扩散工序具有将含有包含受主元素的玻璃粒子及分散介质的p型扩散层形成组合物赋予到半导体基板的工序、和通过热处理使受主元素扩散到半导体基板中而形成p型扩散层的工序的情况下，第二扩散工序具有以p型扩散层形成组合物的热处理物作为掩模而使磷扩散的工序。可以将第一扩散工序的p型扩散层形成组合物用含有包含施主元素的玻璃粒子及分散介质的n型扩散层形成组合物来代替，此时，在第二扩散工序中，以n型扩散层形成组合物的热处理物作为掩模而使硼扩散。

主权项

一种具有扩散层的半导体基板的制造方法，其包括：对半导体基板上的至少一部分赋予p型扩散层形成组合物的工序，所述p型扩散层形成组合物含有包含受主元素的玻璃粒子及分散介质；通过热处理使所述受主元素扩散到所述半导体基板中而形成p型扩散层的工序；和以所述p型扩散层形成组合物的热处理物的至少一部分作为掩模，使磷扩散到所述半导体基板中而形成n型扩散层的工序。