[发明专利]压电振子以及压电振子的频率调整方法有效
| 申请号： | 201480067336.8 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105814795B | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 宇波俊彦;龟田英太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及压电振子以及压电振子的频率调整方法。本发明提供一种难以产生残留物，并能够高精度地调整频率并且强度的降低较小的频率调整方法。本发明所涉及的压电振子(1)的频率调整方法具备准备压电振子(1)的工序、和向连结部(3a)照射激光(B)来形成变质部(8)的工序，该压电振子(1)具备基部(2)、具有与上述基部(2)连接的上述连结部(3a)和从上述连结部(3a)延伸的多个振动臂主体(3b)并且由单晶形成的振动臂部(3)、形成在上述振动臂部(3)上的下部电极(5)、形成在上述下部电极(5)上的压电薄膜(6)、以及形成在上述压电薄膜(6)上的上部电极(7)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 以及 频率 调整 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电振子，具备：基部；振动臂部，与所述基部连接，并且由单晶形成；下部电极，形成在所述振动臂部上；压电薄膜，形成在所述下部电极上；以及上部电极，形成在所述压电薄膜上，所述振动臂部具有：与所述基部连接的连结部、和从所述连结部延伸的多个振动臂主体，在所述连结部设置有变质部，利用面外弯曲振动模式，所述变质部为构成所述连结部的基材的结晶性呈变质的状态，并且所述变质部的组成结构与周围的所述连结部的组成结构不同。
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