[发明专利]依据要求的目标及工艺灵敏度分析有效
| 申请号： | 201480067806.0 | 申请日： | 2014-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN105830069B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | M·E·阿德尔;N·阿米尔;M·吉诺乌克;T·夏斯特曼;D·格瑞奥迪;S·博罗迪扬斯凯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用于根据外在要求或内在发展及验证需要，分析目标、工艺及计量配置对广泛范围的参数的灵敏度的系统及方法。系统包括以下元件。输入模块经布置以接收与目标、目标计量条件及生产工艺相关的参数，以产生目标数据。计量模拟单元经布置以从所述目标数据模拟目标的计量测量且产生量化所述模拟目标测量的多个度量。灵敏度分析模块经布置以导出所述度量对所述参数的函数相依性且关于所述所导出的函数相依性界定所述参数的所要不确定性。最后，目标优化模块经布置以关于所述模拟目标测量对目标及目标计量条件进行排名。 | ||
| 搜索关键词： | 依据 要求 目标 工艺 灵敏度 分析 | ||
【主权项】：
一种系统，其包括：输入模块，其经布置以接收与目标、目标计量条件及生产工艺相关的多个参数，以产生目标数据，计量模拟单元，其经布置以从所述目标数据模拟目标的计量测量且产生量化所述模拟目标测量的多个度量，灵敏度分析模块，其经布置以导出所述度量对所述参数的函数相依性且关于所述导出的函数相依性界定所述参数的所要不确定性，及目标优化模块，其经布置以关于所述模拟目标测量对所述目标及所述目标计量条件中的至少一者进行排名。
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