[发明专利]用于可替换的灯的适配器有效

专利信息
申请号: 201480068623.0 申请日: 2014-11-18
公开(公告)号: CN106133888B 公开(公告)日: 2019-10-01
发明(设计)人: 约瑟夫·M·拉内什;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/324 分类号: H01L21/324
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明的实施方式大体关于一种改进的适配器,所述适配器用于在快速热处理(RTP)腔室中用作热辐射源的简化灯。在一个实施方式中,提供有灯组件。灯元件包含具有灯丝设在所述舱体中的舱体;按压密封件,耦接至舱体;及适配器,具有插座,所述插座经调整轮廓以接收所述按压密封件的至少一部分,其中所述按压密封件可移除地与所述适配器啮合。
搜索关键词: 用于 替换 适配器
【主权项】:
1.一种灯组件,包括:灯元件,包括:舱体,具有设置在所述舱体中的灯丝;按压密封件,从所述舱体延伸;以及第一引线及第二引线,其中所述第一引线和第二引线的每个从所述按压密封件延伸,并且所述第一引线和第二引线的每个具有第一端和第二端,所述第一端与所述灯丝电连接;适配器,可移除地与所述按压密封件的至少一部分啮合,其中所述适配器具有第一通道和第二通道,所述第一通道和所述第二通道经调整尺寸以分别允许所述第一引线和所述第二引线通过;第一导电销,所述第一导电销耦接至所述第一引线的所述第二端,所述第一导电销延伸通过所述第一通道;以及绝缘套筒,所述绝缘套筒具有第一端和第二端,所述绝缘套筒的所述第一端耦接至所述第二引线的所述第二端,所述绝缘套筒的所述第二端耦接至第二导电销,所述绝缘套筒延伸通过所述第二通道,其中所述绝缘套筒具有涂布有金属层的内表面,其中所述金属层与所述第二引线和所述第二导电销电连接。
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