[发明专利]用于可替换的灯的适配器有效
申请号: | 201480068623.0 | 申请日: | 2014-11-18 |
公开(公告)号: | CN106133888B | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 约瑟夫·M·拉内什;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L21/324 | 分类号: | H01L21/324 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明的实施方式大体关于一种改进的适配器,所述适配器用于在快速热处理(RTP)腔室中用作热辐射源的简化灯。在一个实施方式中,提供有灯组件。灯元件包含具有灯丝设在所述舱体中的舱体;按压密封件,耦接至舱体;及适配器,具有插座,所述插座经调整轮廓以接收所述按压密封件的至少一部分,其中所述按压密封件可移除地与所述适配器啮合。 | ||
搜索关键词: | 用于 替换 适配器 | ||
【主权项】:
1.一种灯组件,包括:灯元件,包括:舱体,具有设置在所述舱体中的灯丝;按压密封件,从所述舱体延伸;以及第一引线及第二引线,其中所述第一引线和第二引线的每个从所述按压密封件延伸,并且所述第一引线和第二引线的每个具有第一端和第二端,所述第一端与所述灯丝电连接;适配器,可移除地与所述按压密封件的至少一部分啮合,其中所述适配器具有第一通道和第二通道,所述第一通道和所述第二通道经调整尺寸以分别允许所述第一引线和所述第二引线通过;第一导电销,所述第一导电销耦接至所述第一引线的所述第二端,所述第一导电销延伸通过所述第一通道;以及绝缘套筒,所述绝缘套筒具有第一端和第二端,所述绝缘套筒的所述第一端耦接至所述第二引线的所述第二端,所述绝缘套筒的所述第二端耦接至第二导电销,所述绝缘套筒延伸通过所述第二通道,其中所述绝缘套筒具有涂布有金属层的内表面,其中所述金属层与所述第二引线和所述第二导电销电连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造