[发明专利]用于运行测压转换器的方法以及测压转换器

摘要

本发明涉及一种用于运行测压转换器的方法以及具有压力传感器(23)的测压转换器，该压力传感器具有柔软的测量膜(2)和基体(3)，在该测量膜和该基体之间包围有具有参考压力的腔体(20)。通过驱控和评估装置(25)，在测压模式下测定作为具有两个电极(21，22)的测量电容器的第一电容器的电容量，以及测定作为具有布置在边缘区域的电极(22，24)的参考电容器的第二电容器的电容量，并且依据测定的电容量来计算介质压力(P)的测量值。在诊断模式下测定并评估诊断电容器的电容量，该诊断电容器由测量电容器的电极(21)和参考电容器的布置在同一面上的电极(24)构成。

主权项

1.一种用于运行具有压力传感器(23)的测压转换器的方法，其中，所述压力传感器(23)具有柔软的测量膜(2)和基体(3)，在所述测量膜和所述基体之间包围有具有参考压力的腔体(20)，其中，所述测量膜(2)的偏移取决于介质压力(P)和所述参考压力，所述介质压力在介质侧作用在所述测量膜(2)上，其中，为了检测所述测量膜(2)的所述偏移而设置有至少一个第一电容器，所述第一电容器具有两个带有依据所述偏移而变化的电极间距的、分别布置在所述测量膜(2)的和所述基体(3)的中间区域中的电极，并且其中，设置有至少一个第二电容器，所述第二电容器具有两个分别布置在所述测量膜(2)的和所述基体(3)的边缘区域中的电极，其特征在于，测定并且为了诊断所述测压转换器而评估诊断电容器的电容量，所述诊断电容器由都布置在基体上的所述第一电容器的电极和所述第二电容器的电极构成，所述诊断电容器的电容量在很大程度上与相应作用在所述测压转换器上的介质压力、并且与所述测量膜的设定的曲线无关。