[发明专利]电源系统以及用于产生功率的方法有效
| 申请号： | 201480069010.9 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN105830195B | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | A·格雷德;D·克劳瑟;A·拉班茨;C·托默;A·佩娜维达尔 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格两合公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电源系统(20)。为了能够处理负载跳变，将对高频信号的幅度控制与对放大器(38，39)的电源电压的电压控制组合，放大器(38，39)将高频信号放大。 | ||
| 搜索关键词： | 电源 系统 以及 用于 产生 功率 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电源系统(2，20)，包括功率转换器(3，30)，所述功率转换器(3，30)产生高频功率信号并且能够连接到负载(6)以向等离子体过程或气体激光器过程供应功率，所述功率转换器(3，30)具有至少一个放大器路径(31，32)，所述至少一个放大器路径(31，32)具有至少一个放大器(37，38，39)，并且通过数模转换器(DAC)(41)由数字信号产生的模拟信号被供应到所述至少一个放大器路径(31，32)，用于产生被供应到所述数模转换器(DAC)的所述数字信号的逻辑电路单元(42)被连接到所述数模转换器(DAC)(41)的上行侧，并且所述逻辑电路单元(42)包括：信号数据存储器(61)，在所述信号数据存储器(61)中储存用于产生模拟信号形式的信号数据值，幅度数据存储器(62)，在所述幅度数据存储器(62)中储存用于影响所述模拟信号的幅度的幅度数据值，乘法器(63)，所述乘法器(63)用于将所述信号数据值乘以所述幅度数据值，其特征在于：提供了可调整的电压电源(59)，所述可调整的电压电源(59)连接到所述至少一个放大器(37，38，39)并且向所述至少一个放大器(37，38，39)供应电压。
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