[发明专利]压力传感器

摘要

本发明涉及一种压力传感器，能在低温下使用，包括：实心金属传感器主体，具有前区域和与前区域邻接的基部，前区域具有比基部大的横截面积并具有外边缘，外边缘能借助于紧固装置夹紧以将压力传感器安装在使用位置处；凹部，设置在前区域中并朝前区域的背向基部的前侧敞开；金属测量隔膜，在测量操作期间，待测量的压力从外部施加到金属测量隔膜，金属测量隔膜能够取决于压力弹性地变形，金属测量隔膜布置在传感器主体的前侧上，从外部封堵凹部，由与传感器主体相同的金属组成，并与前区域的外边缘隔开；以及机电变送器，用于借助于测量来检测测量隔膜的与压力有关的变形，具有至少一个测量元件，其借助于绝缘元件与测量隔膜和传感器主体电绝缘。

主权项

1.一种压力传感器，包括：‑实心金属传感器主体(1)，所述实心金属传感器主体(1)具有前区域(3)和与所述前区域(3)邻接的基部(5)，‑‑所述实心金属传感器主体(1)的所述前区域(3)具有比所述基部(5)大的横截面积，并且‑‑所述实心金属传感器主体(1)的所述前区域(3)具有外边缘(11)，所述外边缘(11)能够借助于紧固装置夹紧以将所述压力传感器安装在使用位置处，‑凹部(7)，所述凹部(7)设置在所述前区域(3)中并且朝所述前区域(3)的背向所述基部(5)的前侧敞开，‑金属测量隔膜(9、9')，在测量操作期间，待测量的压力(p)从外部被施加到所述金属测量隔膜(9、9')，并且取决于所述压力，所述金属测量隔膜(9、9')能够弹性地变形，所述金属测量隔膜(9、9')布置在所述传感器主体(1)的前侧上，朝外部封堵所述凹部(7)，‑‑所述金属测量隔膜(9、9')由与所述传感器主体(1)相同的金属组成，并且‑‑所述金属测量隔膜(9、9')与所述前区域(3)的所述外边缘(11)隔开，以及‑机电变送器，所述机电变送器用于以计量方式检测所述测量隔膜(9、9')的与压力有关的变形，所述机电变送器具有至少一个测量元件(55、57)，所述至少一个测量元件(55、57)借助于绝缘元件(51、53)与所述测量隔膜(9、9')和所述传感器主体(1)电绝缘，其中‑所述绝缘元件(51)是体材料，所述绝缘元件(51)被插入到所述凹部(7)中，所述绝缘元件(51)的前侧面向所述测量隔膜(9)、与所述测量隔膜(9)平行并且与所述测量隔膜(9)隔开，并且‑所述测量元件(55)之一是安装到所述绝缘元件(51)的前侧的测量电极，所述测量电极与用作对电极的所述测量隔膜(9)一起形成电容器，所述电容器的容量取决于所述测量隔膜(9)的与压力有关的弯曲。