[发明专利]位置灵敏衬底装置

摘要

本发明的一些方面涉及一种系统，其具有衬底装置、衬底支撑表面及将所述衬底装置定位在所述衬底支撑表面上的衬底处置器。所述衬底装置及所述衬底支撑表面可具有配对的粗略位置单元及精细位置单元。所述系统可测量第一与第二粗略位置单元之间的粗略位置偏移、基于所述粗略位置偏移来将所述衬底装置重新定位在所述衬底支撑表面上，且随后测量第一与第二精细位置单元之间的精细位置偏移。在一些实施方案中，所述衬底装置经由无线通信链路一体地耦合到所述衬底处置器以传递位置信息作为用于进一步放置的反馈。

主权项

一种衬底装置，其包括：第一粗略位置单元，其为衬底支撑表面的第二粗略位置单元的配对，及第一精细位置单元，其为所述衬底支撑表面的第二精细位置单元的配对，其中所述衬底装置经配置以测量所述第一与第二粗略位置单元之间的粗略位置偏移，且其中所述衬底装置经配置以测量所述第一与第二精细位置单元之间的精细位置偏移。