[发明专利]用于制造陶瓷线的设备

摘要

一种制造陶瓷线的设备被公开。所述制造设备可以包括：用于将陶瓷线沉积在线衬底上的沉积单元；装载/卸载单元，具有用于将线衬底提供到沉积单元的释放卷轴以及用于从沉积单元排出线衬底的盘绕卷轴的；以及至少一个缓冲单元，布置在装载/卸载单元和沉积单元之间，并且在释放卷轴或盘绕卷轴被更换时，连续地提供线衬底到沉积单元或者从沉积单元连续地排出线衬底。

主权项

1.一种用于制造陶瓷线的设备，包括：沉积单元，所述沉积单元被构造成将陶瓷线沉积在线衬底上；装载单元，所述装载单元包括释放卷轴，所述释放卷轴被构造成将所述线衬底提供到所述沉积单元；以及卸载单元，所述卸载单元包括盘绕卷轴，所述盘绕卷轴被构造成卷绕来自所述沉积单元的所述线衬底；以及至少一个缓冲单元，所述至少一个缓冲单元设置在所述装载单元或卸载单元和所述沉积单元之间，在所述释放卷轴或所述盘绕卷轴被更换时，所述至少一个缓冲单元将线衬底连续提供到所述沉积单元，或者从所述沉积单元连续排出所述线衬底，其中，所述缓冲单元包括：缓冲腔室，所述缓冲腔室包括连接到所述装载/卸载单元的缓冲端口；缓冲卷轴对卷轴装置，所述缓冲卷轴对卷轴装置设置在所述缓冲腔室内，以调节所述缓冲腔室内所述线衬底的长度；以及夹紧部分，所述夹紧部分联接到所述缓冲端口，以在所述释放卷轴或所述盘绕卷轴被更换时固定所述线衬底，所述夹紧部分保持所述缓冲腔室的真空压力。