[发明专利]用于紫外线光刻的玻璃陶瓷及其制造方法在审
| 申请号： | 201480070431.3 | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN105829259A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 拉尔夫·霍夫曼;马耶德·A·福阿德;卡拉·比斯利 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C03C17/22 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种极紫外线掩模及制造该极紫外线掩模的方法，包括：提供玻璃陶瓷块体；从该玻璃陶瓷块体形成玻璃陶瓷基板；及沉积平坦层于该玻璃陶瓷基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 紫外线 光刻 玻璃 陶瓷 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种制造极紫外线基板的方法，包含以下步骤：提供玻璃陶瓷块体；从所述玻璃陶瓷块体形成玻璃陶瓷基板；及沉积平坦层于所述玻璃陶瓷基板上。
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