[发明专利]基板处理装置

摘要

根据本发明的一实施例，基板处理装置包括：腔，提供对基板实施工序的内部空间；基座，设置在上述内部空间，且在上部放置上述基板；固定板，设置在沿着上述基座的周边在上述腔的侧壁形成的排气口上，并具有多个贯通孔；及一个以上的滑动板，设置在上述固定板的上部或下部，能够以上述基座的中心为基准旋转，选择性地开闭上述多个贯通孔。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：腔，提供对基板实施工序的内部空间；基座，设置在上述内部空间，且在上部放置上述基板；固定板，设置在沿着上述基座的周边在上述腔的侧壁形成的排气口上，并具有多个贯通孔；及一个以上的滑动板，设置在上述固定板的上部或下部，能够以上述基座的中心为基准旋转，选择性地开闭上述多个贯通孔，上述滑动板还具备：上部板，配置在上述固定板的上部，贯通形成有排出孔；及侧面板，沿着上述上部板的外周面连接而能够沿着上述腔的侧壁移动，并具备磁体，上述基板处理装置还包括：外壳：与上述腔的外壁分开距离设置，提供从外部遮断的运送路径；遮断板，设置在上述外壳内，将上述运送路径划分为多个运送区间；磁铁，分别设置在上述运送区间，向上述侧面板施加磁力而可以一起移动；弹性部件，分别设置在上述遮断板和上述磁铁之间，向上述磁铁提供弹力；以及液压线路，分别设置在上述运送区间，提供液压而使上述磁铁可向上述遮断板移动。