[发明专利]图像处理方法、图像处理装置、图像处理程序及存储有图像处理程序的存储介质

摘要

观察系统(1A)中的图像处理方法包括：第1步骤，其获取以半导体设备(S)为对象而测定的测定图像(G₁)、及对应于测定图像(G₁)的表示半导体设备(S)的图案的第1图案图像(G₂)；第2步骤，其获取表示半导体设备(S)的图案的第2图案图像(G₃)；第3步骤，其基于第1图案图像(G₂)与第2图案图像(G₃)，获取表示第1图案图像(G₂)与第2图案图像(G₃)的相对关系的匹配信息；及第4步骤，其通过基于匹配信息使第2图案图像(G₃)与测定图像(G₁)重叠而获取重叠图像(G₄)。

主权项

1.一种图像处理方法，其特征在于，包括：第1步骤，其获取以半导体设备为对象而测定的测定图像、及对应于所述测定图像的表示所述半导体设备的图案的第1图案图像；第2步骤，其获取表示所述半导体设备的图案的第2图案图像；第3步骤，其基于所述第1图案图像与所述第2图案图像，获取表示所述第1图案图像与所述第2图案图像的相对关系的匹配信息；及第4步骤，其通过基于所述匹配信息使所述第2图案图像与所述测定图像重叠而获取重叠图像，在所述第3步骤中，自所述第1图案图像提取第1形状信息，自所述第2图案图像提取第2形状信息，基于所述第1形状信息及所述第2形状信息而获取所述匹配信息，并且自所述第1图案图像及所述第2图案图像提取各自的轮廓线作为所述第1形状信息及所述第2形状信息，在所述第1形状信息与所述第2形状信息之间检索相互类似的图案，从而获取所述匹配信息，在所述第3步骤中，基于表示所述第1图案图像的所述半导体设备上的范围的第1视野尺寸、与表示所述第2图案图像的所述半导体设备上的范围的第2视野尺寸之比，调整所述第1图案图像及所述第2图案图像中的至少任一者的图像尺寸。