[发明专利]多通道背侧晶片检查

摘要

本发明提供一种用于运用多通道焦点控件检查晶片的背侧表面的系统，其包含：一组检查子系统，其包含第一检查子系统及额外检查子系统。所述第一及额外检查子系统包含：光学组合件；致动组合件，其中所述光学组合件被安置于所述致动组合件上；及位置传感器，其经配置以感测所述光学组合件的部分与所述晶片的所述背侧表面之间的位置特性。所述系统还包含：控制器，其经配置以获取所述晶片的所述背侧表面的一或多个晶片轮廓映射，及基于所接收到的一或多个晶片轮廓映射调整所述第一检查子系统的第一焦点位置或所述额外检查子系统的额外焦点位置。

主权项

1.一种运用多通道焦点控件检查晶片的背侧表面的系统，其包括：多个检查子系统，其包含可定位于第一晶片位置处的第一检查子系统及可定位于额外晶片位置处的至少一额外检查子系统，其中所述晶片在所述晶片的一个或多个边缘点被固定，其中所述第一检查子系统包括：第一光学组合件；第一致动组合件，其中所述第一光学组合件被安置于所述第一致动组合件上；及第一位置传感器，其经配置以感测所述第一光学组合件的部分与所述晶片的所述背侧表面之间的位置特性；其中所述至少一额外检查子系统包括：至少一额外光学组合件；至少一额外致动组合件，其中所述至少一额外光学组合件被安置于所述至少一额外致动组合件上；及至少一额外位置传感器，其经配置以感测所述至少一额外光学组合件的部分与所述晶片的所述背侧表面之间的位置特性；及控制器，其中所述控制器通信地耦合到所述第一致动组合件、所述至少一额外致动组合件、所述第一位置传感器及所述至少一额外位置传感器，其中所述控制器经配置以执行一组程序指令，所述组程序指令经配置以引起一或多个处理器进行以下操作：获取所述晶片的所述背侧表面的一或多个晶片轮廓映射，其中所述获取所述一或多个晶片轮廓映射包括：执行所述晶片的所述背侧表面的预映射过程以便运用所述第一位置传感器或所述至少一额外位置传感器中的至少一者产生所述一或多个晶片轮廓映射；及基于所接收到的一或多个晶片轮廓映射，调整所述第一检查子系统的第一焦点位置或所述至少一额外检查子系统的至少一额外焦点位置中的至少一者以校正由所述晶片的引力下垂及/或薄膜导致的翘曲引起的聚焦偏移。