[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法和印刷配线板的制造方法有效
| 申请号： | 201480070761.2 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105849641B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 冈出翔太;宫坂昌宏;村松有纪子 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶;金鲜英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 感光性树脂组合物含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物以及光聚合引发剂。粘合剂聚合物具有：来自(甲基)丙烯酸的结构单元、来自苯乙烯或α‑甲基苯乙烯的结构单元以及来自具有碳原子数为1～12的羟烷基的(甲基)丙烯酸羟烷基酯的结构单元。光聚合性化合物包含亚乙基氧基的结构单元数为1～20且亚丙基氧基的结构单元数为0～7的双酚型二(甲基)丙烯酸酯。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 图案 形成 方法 印刷 线板 制造 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，含有：/n粘合剂聚合物，其具有来自(甲基)丙烯酸的结构单元、来自苯乙烯或α-甲基苯乙烯的结构单元及来自具有碳原子数为1～12的羟烷基的(甲基)丙烯酸羟烷基酯的结构单元，/n光聚合性化合物，其包含至少两种亚乙基氧基的结构单元数为1～20且亚丙基氧基的结构单元数为0～7的双酚型二(甲基)丙烯酸酯，一种双酚型二(甲基)丙烯酸酯不具有亚丙基氧基，其他种双酚型二(甲基)丙烯酸酯具有亚丙基氧基，以及/n光聚合引发剂。/n
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