[发明专利]具有声能反射中间层的微机电声换能器

摘要

本发明涉及一种用于生成和/或检测可听波长谱中的声波的MEMS声换能器以及用其构造的芯片，具有：载体衬底(2)；构造在载体衬底(2)中的空腔(3)，所述空腔(3)具有至少一个开口(4)；以及多层压电隔膜结构(5)，其跨越空腔(3)的开口(4)并且在其边缘区域中与载体衬底(2)连接，使得其能够为了生成和/或检测声能而相对于载体衬底(2)振动；其中隔膜结构(5)至少局部地在横截面中包括第一压电层和与第一压电层间隔开布置的第二压电层(8，9)。根据本发明，在两个压电层(8，9)之间的区域中布置有中间层(19)，所述中间层(19)被构造为使得借助于所述中间层(19)，声能能够向隔膜结构(5)的与空气接界的至少一个交界面(17，18)的方向上反射。

主权项

1.一种用于生成和/或检测可听波长谱中的声波的MEMS声换能器，具有：/n载体衬底(2)；/n构造在载体衬底(2)中的空腔(3)，所述空腔(3)具有至少一个开口(4)；以及/n多层压电隔膜结构(5)，其跨越空腔(3)的开口(4)并且在其边缘区域中与载体衬底(2)连接，使得其能够为了生成和/或检测声能而相对于载体衬底(2)振动；/n其中隔膜结构(5)至少局部地在横截面中包括第一压电层和与第一压电层间隔开布置的第二压电层(8，9)；/n其特征在于，/n隔膜结构(5)在俯视图中具有多个可彼此分开激励的换能器区域(38，39)，载体衬底(2)在俯视图中具有至少一个构造在框的内部空间中的支撑元件(40)，所述支撑元件(40)被布置为支撑两个相邻换能器区域(38，39)之间的隔膜结构(5)，所述支撑元件(40)以其朝向隔膜结构(5)的支撑元件端部(43)与隔膜结构(5)连接，在两个压电层(8，9)之间的区域中布置有中间层(19)，所述中间层(19)被构造为使得借助于所述中间层(19)，声能能够向隔膜结构(5)的与空气接界的至少一个交界面(17，18)的方向上反射。/n