[发明专利]末端执行器装置

摘要

本发明的末端执行器装置(1)具备：手(3)；多个保持部(4A)(4B)，设置在手(3)，以多片半导体晶片(9)为水平姿势、且上下相互空出间隔配置的方式保持多片半导体晶片(9)；1个检测器，构成为从上下方向观看配置在多片半导体晶片(9)的外侧，且能够以针对每1片晶片，与半导体晶片(9)的周缘部对向的状态检测半导体晶片(9)的存在；及检测器移动机构(6)，以所述1个检测器与所有半导体晶片(9)的周缘部对向的方式，使所述1个检测器在上下方向与多片半导体晶片(9)相对移动。

主权项

1.一种末端执行器装置，安装在机器人的臂，具备：手；多个保持部，设置在所述手，以多片衬底在1个平面平行且在正交于所述1个平面的第1方向相互空出间隔配置的方式，保持所述多片衬底；1个检测器，设置在所述末端执行器装置，构成为从所述第1方向观看配置在所述多片衬底的外侧，且能够以针对每1片衬底与所述衬底的周缘部对向的状态检测被所述多个保持部保持的所述衬底的存在；及检测器移动机构，设置在所述末端执行器装置，以所述1个检测器与所有各衬底的周缘部对向的方式，使所述1个检测器在所述第1方向与所述多片衬底相对移动；所述各保持部包含间距变更机构，所述间距变更机构以使承接对应衬底的周缘部的多个承接部的每一个移动的方式构成；将所述间距变更机构与所述检测器移动机构相互关联，而以共通的驱动源驱动。