[发明专利]多电极电子光学系统有效
| 申请号： | 201480071804.9 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN105874559B | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | M.J-J.维兰德;W.H.乌尔巴努斯 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/065;H01J37/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 高巍 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种准直器电极堆叠(70)，其包括：至少三个准直器电极(71‑80)，其用于准直沿着光轴(A)的带电粒子束(54)，其中每个准直器电极包括具有电极孔的电极主体，电极孔用于允许带电粒子束通过，其中电极主体沿着与光轴基本上平行的轴向方向(Z)间隔开，并且其中电极孔沿着所述光轴同轴地对准；以及多个间隔结构(89)，其被设置在每一对相邻准直器电极之间并且由电绝缘材料制成，多个间隔结构(89)用于沿着所述轴向方向以预定距离来定位准直器电极。准直器电极(71‑80)中的每一个电连接至单独的电压输出端(151‑160)。本发明还涉及一种操作带电粒子束产生器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 电子光学 系统 | ||
【主权项】：
1.一种准直器电极堆叠，其包括：至少五个准直器电极(71‑80)，用于准直沿着光轴(A)的由带电粒子束源(52)产生的带电粒子束(54)，其中每个准直器电极包括具有一个电极孔(82)的电极主体(81)，所述电极孔(82)用于使所述带电粒子束能够通过，所述电极主体沿着与光轴基本上平行的轴向方向(Z)间隔开，并且所述电极孔沿着所述光轴同轴地对准；以及多个间隔结构(89)，其被设置在每一对邻接的准直器电极之间并且由电绝缘材料制成，所述多个间隔结构(89)用于沿着轴向方向以预定距离来定位所述准直器电极，并且其中各个所述准直器电极(71‑80)电连接至各自的电压输出端(151‑160)，以向准直器电极提供电位，所述准直器电极被配置为保持在预定的电位，从而在两个相邻的准直器电极之间产生电位差，并且所述至少五个准直器电极之间的电位差的逐步变化产生沿着轴向方向的电场分布的平滑的变化，其中所述电场分布相对于带电粒子束作为透镜发挥作用。
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