[发明专利]电极堆栈布置

摘要

本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔(82)的电极主体(81)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)。所述电极主体优选地具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明还涉及一种适用于带电粒子束产生器的准直器电极堆叠，其包括：第一准直器电极和第二准直器电极，其各自设置有用于传送所述冷却液体(102)的冷却导管(105)；以及连接导管(110)，其用于所述第一及第二准直器电极的所述冷却导管之间的液体连接。

主权项

1.一种准直器电极，其包括电极主体，其中所述电极主体设置有中心电极孔，该电极孔用于允许轴向方向中的带电粒子束通过，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体的冷却导管；其中，所述准直器电极包括沿着所述电极主体的向外电极周边的至少两个电极支撑部分以及电极支撑构件，其中每个电极支撑构件将所述电极周边与对应电极支撑部分互连，从而在所述电极支撑部分与所述外电极周边之间限定热膨胀空间，并且其中所述电极支撑构件适于在所述轴向方向上共同地支撑所述电极主体的重量。