[发明专利]使用同时旋转与振动的涂覆材料分配

摘要

本发明提供使用同时振动与旋转分配涂覆材料的方法及系统。在振动期间产生的惯性力及在旋转期间产生的离心力再分配先前沉积于表面上的所述涂覆材料，从而产生均匀及/或保形层。所述经涂覆表面可具有各种形状及粗糙度且可称为复杂表面。可使用浸渍、喷涂、旋涂或其它相似技术将所述涂覆材料的初始层沉积于部件的复杂表面上。通过使用特别选择的工艺条件使所述部件同时旋转及振动来再分配所述涂覆材料，所述特别选择的工艺条件是例如振动及旋转轴相对于所述部件的定向、旋转速度以及振动频率及振幅。可使用不同工艺条件重复所述再分配操作一或多次以确保所述复杂表面的不同部分上的均匀分配。

主权项

1.一种用于沉积涂覆材料的方法，所述方法包括：将涂覆材料的初始层沉积于部件的表面的至少一部分上；使用第一组工艺条件再分配所述初始层中的所述涂覆材料以形成经修改层，所述第一组工艺条件包括使所述部件同时旋转及振动；使用第二组工艺条件再分配所述经修改层中的所述涂覆材料，所述第二组工艺条件包括使所述部件同时旋转及振动，其中起因于使用所述第一组工艺条件再分配所述涂覆材料而作用于所述涂覆材料上的离心力与惯性力的组合与起因于使用所述第二组工艺条件再分配所述涂覆材料而作用于所述涂覆材料上的离心力与惯性力的组合不同；及确定所述第一组工艺条件及所述第二组工艺条件，其中在所述第一组工艺条件中所述部件相对于旋转轴的定向不同于在所述第二组工艺条件中所述部件相对于旋转轴的定向。