[发明专利]带电粒子束装置、样本图像取得方法以及程序记录介质

摘要

本发明的带电粒子束装置具备数据处理部，其从检测器的信号中除去一次带电粒子束在到达样本以前由于被散射而对一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。例如，在用电子显微镜观察处于非真空气氛中的样本(6)的情况下，从通过检测器取得的信号中除去一次带电粒子束由于隔膜(10)或存在于非真空空间(12)中的气体而散射从而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。由此，能够简便地得到高质量的图像。

主权项

一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：带电粒子光学镜筒，其内部被真空排气；样本台，其将样本载置在非真空空间中；检测器，其检测通过向上述样本照射从上述带电粒子光学镜筒出射的一次带电粒子束而得到的二次带电粒子；以及数据处理部，其从上述检测器的信号中除去由于上述一次带电粒子束直到到达上述样本为止被散射而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响，上述数据处理部使用上述一次带电粒子束中到达上述样本之前没有被散射的无散射带电粒子束的斑点形状和上述一次带电粒子束中到达上述样本之前被散射了的散射带电粒子束的斑点形状，生成到达上述样本时的上述一次带电粒子束的斑点形状的模型，并使用该模型求出对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。