[发明专利]保护膜形成用复合片在审
申请号: | 201480072301.3 | 申请日: | 2014-12-25 |
公开(公告)号: | CN105899631A | 公开(公告)日: | 2016-08-24 |
发明(设计)人: | 米山裕之;佐伯尚哉;加太章生 | 申请(专利权)人: | 琳得科株式会社 |
主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02;H01L21/301 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王利波 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及保护膜形成用复合片(1),其具有:在基材(21)的一面侧叠层粘合剂层(22)而成的粘合片(2)、叠层于粘合片(2)的粘合剂层(22)侧的保护膜形成膜(3)、以及叠层于保护膜形成膜(3)的与粘合片(2)侧相反侧的边缘部的夹具用粘合剂层(4),其中,粘合片(2)的粘合剂层(22)的厚度为1~8μm。利用该保护膜形成用复合片(1),不仅能够有效地抑制加热工序和冷却工序中片(1)的松弛,而且可以良好地进行切割和拾取。 | ||
搜索关键词: | 保护膜 形成 复合 | ||
【主权项】:
一种保护膜形成用复合片,其具备:在基材的一面侧叠层粘合剂层而成的粘合片、叠层于所述粘合片的所述粘合剂层侧的保护膜形成膜、以及叠层于所述保护膜形成膜的与所述粘合片侧相反侧的边缘部的夹具用粘合剂层,其中,所述粘合片的所述粘合剂层的厚度为1~8μm。
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