[发明专利]具有大稳定运动范围的多状态干涉调制器

摘要

本发明提供关于机电显示装置的系统、方法和设备。在一个方面中，多级干涉调制器IMOD可包含可移到不同位置以产生不同反射色彩的可移动反射器。所述IMOD可包含耦合到所述可移动反射器的背面且对所述可移动反射器提供支撑的可变形元件。所述可变形元件可提供将所述可移动反射器偏置到停置位置的复原力。所述IMOD可包含经配置以在啮合时增加所述复原力的一或多个复原力修改器。所述复原力修改器可位于所述可移动反射器与所述可变形元件之间，以使得当所述可移动反射器移位到接触位置时，所述可变形元件接触所述复原力修改器。

主权项

一种干涉调制器，其包括：衬底；由所述衬底支撑的光学堆叠，其中所述光学堆叠为部分地反射且部分地透射；位于所述光学堆叠上方的可移动反射器，所述可移动反射器包含面向所述光学堆叠的前面和与所述前面相反的背面，所述光学堆叠和所述可移动反射器界定其间的光学腔；耦合到所述可移动反射器的所述背面的可变形元件，其中所述可变形元件可操作以提供用以将所述可移动反射器偏置到第一位置的复原力；以及位于所述可移动反射器与所述可变形元件之间的复原力修改器，所述干涉调制器经配置以使得当所述可变形元件接触所述复原力修改器时所述复原力修改器增加所述可变形元件的所述复原力，其中所述可移动反射器位于所述复原力修改器与所述光学堆叠之间。