[发明专利]含有电化学惰性阳离子的铜电沉积浴有效
| 申请号： | 201480072944.8 | 申请日： | 2014-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN105899715B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 洛里安娜·勒里基尤克斯;保罗·布隆多;多米尼克·祖尔 | 申请（专利权）人： | 阿文尼公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D3/38;H01L21/00;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 董世豪;张淑珍 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于将铜沉积在金属衬底上的电解液组合物。该组合物含有两种芳香胺和电化学惰性阳离子的组合。这种电解液使得可以增加铜成核密度。该电解液还使得能够自下而上地填充于具有非常小的开口尺寸、一般小于40nm的沟槽中。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 电化学 惰性 阳离子 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种用于将铜电沉积在衬底上的电解液，所述电解液包含处于水性溶液中的铜离子、以及至少两种芳香胺和电化学惰性阳离子的组合，所述芳香胺为2,2'‑联吡啶和咪唑，所述电化学惰性阳离子选自于由铯(Cs2+)、烷基铵以及它们的混合物所组成的组；其特征在于，铜离子的浓度在0.4mM与40mM之间，所述两种芳香胺的浓度的总和在1.6mM与160mM之间，并且所述阳离子的浓度在0.4mM与100mM之间，并且其特征在于，2,2'‑联吡啶表示0.5至2摩尔当量的铜离子浓度，且咪唑表示1至5摩尔当量的铜离子浓度。
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