[发明专利]用于密封环境的位置反馈有效

专利信息
申请号: 201480073062.3 申请日: 2014-11-13
公开(公告)号: CN107135667B 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: J.T.穆拉;R.塞普拉扎;B.冈;M.科亚迪;U.吉尔克里斯特 申请(专利权)人: 布鲁克斯自动化公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 邓雪萌;谭祐祥
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种输送设备包括:壳体;安装到壳体的驱动器;连接到驱动器的至少一个输送臂,驱动器包括:至少一个转子,其具有磁导性材料的至少一个凸极且安置于隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极和相对应的线圈单元且安置于隔离环境外,至少一个定子的至少一个凸极和转子的至少一个凸极在至少一个转子与至少一个定子之间形成闭合磁通量回路;配置来将隔离环境隔离开的至少一个密封分区;及至少一个传感器,其包括:连接到壳体的磁性传感器构件;连接到至少一个转子的至少一个传感器轨道,至少一个密封分区安置于磁性传感器构件与至少一个传感器轨道之间且使其分隔开,使得至少一个传感器轨道安置于隔离环境中且磁性传感器构件安置于隔离环境外。
搜索关键词: 用于 密封 环境 位置 反馈
【主权项】:
一种输送设备,其包括:壳体;驱动器,其安装到所述壳体;以及至少一个输送臂,其连接到所述驱动器,其中所述驱动器包括:至少一个转子,其具有磁导性材料的至少一个凸极并且安置于隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极和相对应的线圈单元并且安置于所述隔离环境之外,其中所述至少一个定子的所述至少一个凸极和所述转子的所述至少一个凸极在所述至少一个转子与所述至少一个定子之间形成闭合磁通量回路;至少一个密封分区,其配置来将所述隔离环境隔离;以及至少一个传感器,其包括:磁性传感器构件,其连接到所述壳体;至少一个传感器轨道,其连接到所述至少一个转子;其中所述至少一个密封分区安置于所述磁性传感器构件与所述至少一个传感器轨道之间并且使其分隔开,使得所述至少一个传感器轨道安置于所述隔离环境中,而所述磁性传感器构件安置于所述隔离环境之外。
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