[发明专利]用于密封环境的位置反馈有效
申请号: | 201480073062.3 | 申请日: | 2014-11-13 |
公开(公告)号: | CN107135667B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | J.T.穆拉;R.塞普拉扎;B.冈;M.科亚迪;U.吉尔克里斯特 | 申请(专利权)人: | 布鲁克斯自动化公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 邓雪萌;谭祐祥 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种输送设备包括:壳体;安装到壳体的驱动器;连接到驱动器的至少一个输送臂,驱动器包括:至少一个转子,其具有磁导性材料的至少一个凸极且安置于隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极和相对应的线圈单元且安置于隔离环境外,至少一个定子的至少一个凸极和转子的至少一个凸极在至少一个转子与至少一个定子之间形成闭合磁通量回路;配置来将隔离环境隔离开的至少一个密封分区;及至少一个传感器,其包括:连接到壳体的磁性传感器构件;连接到至少一个转子的至少一个传感器轨道,至少一个密封分区安置于磁性传感器构件与至少一个传感器轨道之间且使其分隔开,使得至少一个传感器轨道安置于隔离环境中且磁性传感器构件安置于隔离环境外。 | ||
搜索关键词: | 用于 密封 环境 位置 反馈 | ||
【主权项】:
一种输送设备,其包括:壳体;驱动器,其安装到所述壳体;以及至少一个输送臂,其连接到所述驱动器,其中所述驱动器包括:至少一个转子,其具有磁导性材料的至少一个凸极并且安置于隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极和相对应的线圈单元并且安置于所述隔离环境之外,其中所述至少一个定子的所述至少一个凸极和所述转子的所述至少一个凸极在所述至少一个转子与所述至少一个定子之间形成闭合磁通量回路;至少一个密封分区,其配置来将所述隔离环境隔离;以及至少一个传感器,其包括:磁性传感器构件,其连接到所述壳体;至少一个传感器轨道,其连接到所述至少一个转子;其中所述至少一个密封分区安置于所述磁性传感器构件与所述至少一个传感器轨道之间并且使其分隔开,使得所述至少一个传感器轨道安置于所述隔离环境中,而所述磁性传感器构件安置于所述隔离环境之外。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于布鲁克斯自动化公司,未经布鲁克斯自动化公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201480073062.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种全屏蔽电脑辐射隔离屏
- 下一篇:一种旅行茶具套件
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造