[发明专利]薄膜涂覆方法及实施该方法的生产线

摘要

本组发明涉及在大规模生产中用于处理表面的处理设备，具体地说，一种施加具有设定光学、电学和其他特性的薄膜涂层的真空处理设备。技术效果是确保能处理柔性大尺寸基板及小尺寸基板，且具有高度的涂层均匀性，且能够使用广泛的技术和处理装置，以及施加材料的高效有用的操作。所述技术效果通过提供一种在基板上施加薄膜涂层的方法来实现，所述基板放置到旋转鼓上，其以相同恒定的线速度和角速度依次沿着处理区移动。另外，选择所述鼓线速度和角速度的比率，以使得通过处理区时，所述鼓表面上的每一个点进行至少两次完整的公转。另外，所述技术效果也可通过以下事实来实现，在施加薄膜涂层的生产线中包括进口气闸室、内有至少一个处理装置的处理室(其形成处理区)，出口缓冲室、输送系统和基板支架(设计用于通过各室)。所述基板支架设计成其上安装有鼓的滑架，所述鼓以滑架移动方向同轴地安装，设计用于旋转，且在处理过程中，移动的旋转角速度和线速度将是恒定的且经选择，以确保通过处理区时，所述圆通表面上的每一个点进行至少两次完整的公转。另外，输送系统装配有辊，并且所述滑架装配有与辊接触的导轨。

主权项

1.在基板上施加薄膜的方法，根据该方法‑所述基板位于基板支架(22)上，每个基板支架(22)安装在滑架(2)上并且安装以使得它们移动通过处理室(17)，并且‑基板支架(22)按顺序移动通过处理室(17)，并且在处理室(17)中进行涂覆，借助于内置于处理室(17)中的处理装置，并且‑其中所述基板支架为旋转鼓的形式，‑并且其中所述旋转鼓平行于旋转鼓的旋转轴移动通过所述处理装置的处理区，并且在通过处理室(17)时，它们具有恒定的线性移动速度并以恒定的角速度旋转，其特征在于‑每个基板支架(22)由在至少一个进口气闸室(14)中的电动机(24)加速到所需的角速度，滑架(2)是静止的，然后继续旋转；‑每个滑架(2)配备有用于旋转所述基板支架的低压电动机，所述电动机通过输送系统的辊或通过各个接触辊和滑架(2)的线性导轨供电，所述线性导轨与滑架的外壳绝缘；并且‑选择所述线性移动速度和角速度的比率，以使得通过所述处理室(17)的处理区时，所述旋转鼓表面上的每一个点进行至少两次完整的旋转。