[发明专利]表面特性检查装置以及表面特性检查方法

摘要

提供一种能够减小温度变化等检查环境的影响地高精度地检查实施过喷丸处理、热处理、氮化处理等表面处理的处理材料的表面处理状态并且能够应用于在线测量的表面特性检查装置以及表面特性检查方法。表面特性检查装置(1)具备交流电源(10)、交流桥电路(20)以及评价装置(30)，交流桥电路(20)由分配比(γ)可变的可变电阻(21)、基准检测器(22)以及检查检测器(23)构成。检查检测器(23)具备卷绕成与被检体(M)的表面特性检查区域相向的线圈(23b)，通过对线圈(23b)供给来自交流电源(10)的交流电力而在被检体(M)中激发涡电流。在基准检测器(22)配置与被检体(M)相同的结构的基准检查体(S)，消除检查环境的影响。

主权项

1.一种表面特性检查方法，使用了用于检查实施过表面处理的被检体的表面特性的表面特性检查装置，该表面特性检查方法的特征在于，所述表面特性检查装置具备：交流桥电路；交流电源，其向所述交流桥电路供给交流电力；以及评价装置，其基于来自所述交流桥电路的输出信号，对被检体的表面特性进行评价，其中，所述交流桥电路具有：可变电阻，其构成为第一电阻和第二电阻之间的分配比可变；检查检测器，其具备能够激发交流磁的线圈，且形成为能够将该线圈配置成在被检体中激发涡电流；以及基准检测器，其构成为在与被检体相同的结构的基准检查体中激发涡电流，检测成为与来自所述检查检测器的输出进行比较的基准的基准状态，所述第一电阻、所述第二电阻、所述基准检测器以及所述检查检测器构成桥电路，所述评价装置将在向所述交流桥电路供给交流电力、且所述检查检测器检测出所述被检体的电磁特性、且所述基准检测器检测出基准状态的状态下的来自所述交流桥电路的输出信号与规定的阈值进行比较，来对所述被检体的表面特性进行评价，所述表面特性检查方法包括以下的工序：准备所述表面特性检查装置的工序；配置工序，相对于被检体在规定的位置配置所述检查检测器，使得在从所述交流电源向所述交流桥电路供给了交流电力时在被检体中激发涡电流；以及评价工序，对在将所述基准检查体配置在所述基准检测器中的状态下从所述交流桥电路输出的输出信号与所述阈值进行比较，来对被检体的表面特性进行评价，其中，针对各被检体执行所述配置工序和所述评价工序，基于在将未处理的被检体配置在所述检查检测器中时的输出信号EA以及在将表面状态良好的表面处理后的被检体配置在所述检查检测器中时的输出信号EB，来设定作为在被检体的评价开始时使用的所述阈值的初始阈值Ethi，在将未处理的多个被检体分别配置在所述检查检测器中时的输出信号的平均值设为EAav、将表面状态良好的表面处理后的多个被检体分别配置在所述检查检测器中时的输出信号的平均值设为EBav、将输出信号EA的标准偏差设为σA、并将输出信号EB的标准偏差设为σB时，通过下式来设定所述初始阈值Ethi，Ethi＝(EAav·σB+EBav·σA)/(σA+σB)。