[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法

摘要

本发明提供在整个蒸镀区域中基板上的蒸镀率的控制精度优异的蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法。本发明提供在基板上形成膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括第一膜厚监视部和包含蒸镀源的蒸镀单元，并且，一边基于上述第一膜厚监视部的测定结果，控制从上述蒸镀源放出气化后的材料的部分与上述基板的被蒸镀的表面之间的距离，一边进行蒸镀。

主权项

一种在基板上形成膜的蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置包括第一膜厚监视部和包含蒸镀源的蒸镀单元，并且，一边基于所述第一膜厚监视部的测定结果，控制从所述蒸镀源放出气化后的材料的部分与所述基板的被蒸镀的表面之间的距离，一边进行蒸镀，所述蒸镀源包含加热装置，所述蒸镀装置包括第二膜厚监视部，并且，一边基于所述第一膜厚监视部的测定结果控制所述距离和所述加热装置的输出，并且基于所述第二膜厚监视部的测定结果控制所述距离的控制中的比例系数，一边进行蒸镀。