[发明专利]末端执行器及基板搬送机器人

摘要

本发明涉及一种末端执行器及基板搬送机器人。本发明的末端执行器(700)包括：机器手基部(701)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；基板保持器件(702)，设置在机器手基部(701)，且用以支撑包含最下段的基板或最上段的基板的两片以上的基板；以及突出量变更器件(703)，用以变更基板保持器件(702)从包含与最下段的基板或最上段的基板对向的机器手基部(701)的表面的基准面的突出量。突出量变更器件(703)具有对基板保持器件(702)的整体赋予驱动力的单一的驱动源(706)。

主权项

1.一种末端执行器，可保持两片以上的基板，且包括：机器手基部，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；基板保持器件，设置在所述机器手基部，且用以支撑包含所述最下段的基板或所述最上段的基板的所述两片以上的基板；以及突出量变更器件，用以变更所述基板保持器件从基准面的突出量，所述基准面包含与所述最下段的基板或所述最上段的基板对向的所述机器手基部的表面；且所述突出量变更器件具有对所述基板保持器件的整体赋予驱动力的单一的驱动源；所述基板保持器件具有：基板支撑部，设置在具有所述机器手基部的末端执行器主体的前端侧，且包含支撑所述基板的背面缘部的基板载置面；以及基板支撑部连接机构，以在对所述基板支撑部施加外力时所述基板支撑部相应于所述外力而移位的方式，将所述基板支撑部连接在所述末端执行器主体的前端侧。