[发明专利]气体注入装置以及辅助构件

摘要

本发明的气体注入装置(1)具备：载置部(2)，载置有第1容器(FOUP(10A))或者第2容器；喷出部(5)，配置于载置部(2)，喷出清洗气体；密封部(7)，以包围喷出部(5)的周缘的方式从载置部(2)突出地设置。喷出部(5)在对第2容器的注入口注入清洗气体的状态下、与该注入口为非接触，密封部(7)在对FOUP(10A)的注入口(15A)注入清洗气体的状态下不妨碍喷出部(5)与注入口(15A)的接触。

主权项

1.一种气体注入装置，向设置于第1容器的第1注入口、或者设置于第2容器且具有比所述第1注入口大的直径的第2注入口，注入清洗气体，其特征在于，具备：载置部，载置所述第1容器或者所述第2容器；喷出部，配置于所述载置部，喷出所述清洗气体；以及密封部，在对所述第2注入口注入所述清洗气体的状态下，以与该第2注入口或者该第2注入口的周缘部接触的方式，从所述载置部突出地设置，所述喷出部在对所述第1注入口注入所述清洗气体的状态下与所述第1注入口接触而将该第1注入口密封，并且，在对所述第2注入口注入所述清洗气体的状态下与所述第2注入口成为非接触，所述密封部在向所述第2注入口注入所述清洗气体的状态下与所述第2注入口或者该第2注入口的周缘部接触，通过与所述载置部的协作而将该第2注入口密封，并且，在向所述第1注入口注入所述清洗气体的状态下不妨碍所述喷出部与所述第1注入口的接触。