[发明专利]用于制造能从其衬底脱粘的薄膜叠层的方法在审
| 申请号： | 201480074964.9 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN106233469A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 布伦丹·邓恩;斯蒂芬妮·盎格鲁 | 申请（专利权）人： | 奈克西斯 |
| 主分类号： | H01L31/032 | 分类号： | H01L31/032;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司11234 | 代理人： | 宋义兴;卓霖 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在初始衬底(1)上制造薄膜太阳能电池的方法，所述薄膜太阳能电池能够从所述初始衬(1)底脱粘，所述薄膜太阳能电池包括：背面金属层(2)和包括p‑n结的薄膜叠层(7)，所述方法包括以下步骤：‑(101)通过溅射在所述初始衬底(1)上沉积所述背面金属层(2)；‑在所述背面金属层(2)上形成所述薄膜叠层(7)；其特征在于，用于沉积所述背面金属层的能量、温度和压力被选择为以可控的方式将剪切应力引入所述背面金属层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 衬底 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在初始衬底(1)上制造薄膜太阳能电池的方法，所述薄膜太阳能电池能够从所述初始衬底(1)脱粘，所述薄膜太阳能电池包括：‑用于形成背面电接触点的背面金属层(2)，‑包括p‑n结的薄膜叠层(7)，所述方法包括以下步骤：‑(101)通过溅射在所述初始衬底(1)上沉积所述背面金属层(2)；‑在所述背面金属层(2)上形成所述薄膜叠层(7)；其特征在于，用于沉积所述背面金属层的能量、温度和压力被选择为以可控的方式将剪切应力引入所述背面金属层。
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