[发明专利]实时基线确定的力测量有效
| 申请号： | 201480075041.5 | 申请日： | 2014-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN106030316B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 刘长春;B·皮腾杰;胡水清;苏全民 | 申请（专利权）人： | 布鲁克公司 |
| 主分类号： | G01Q30/00 | 分类号： | G01Q30/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 许向彤;陈英俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种原子力显微镜(AFM)及其方法，提供较小力的(sub‑20pN)AFM控制，并提供力学性能测试。优选实施例采用实时的虚假偏转修正/辨别，通过适应性地修改驱动倾斜来符合偏转伪影。 | ||
| 搜索关键词： | 实时 基线 确定 测量 | ||
【主权项】：
1.一种检测样品和原子力显微镜的探针之间的力的方法，所述方法包括以下步骤：在所述样品的兴趣位置处定位所述探针和所述样品中的至少一个；移动所述探针和所述样品中的至少一个来减少其之间的间隔并使所述探针和所述样品交互；基于所述移动的步骤测量所述探针的偏转；在所述移动的步骤期间通过不断确认基线，从所述测量的偏转数据中辨别经探针与样品交互产生的偏转和偏转伪影，来导出无伪影偏转，并将其与预先定义的触发力进行比较；当所述无伪影偏转对应于所述触发力时从所述样品缩回所述探针；和确定所述样品和所述探针之间的所述力，其中，所述力小于20pN。
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