[发明专利]成膜装置

摘要

本发明提供一种成膜装置，通过多个分板以各自的端部隔着间隙重叠的方式排列而构成在处理室内包围基板处理区域的防附着板，通过在叠合部的宽度方向上的相对移动，吸收随着成膜处理产生的热膨胀。在分板的叠合部设有凹部，该凹部使该分板在与处理区域连通的一侧的间隙比另一侧的间隙大，通过增大该叠合部的在成膜处理时形成金属膜的部位的间隙，抑制在叠合部的分板为了吸收热膨胀而相对移动时发生的接触，防止剥离物的混入造成的成膜品质降低。通过凹部以外部分处的间隙来确保防附着板的密封功能。

主权项

1.一种成膜装置，其包括防附着板，该防附着板在对基板进行成膜处理的处理室的内部以包围所述基板的处理区域的方式配置，防止成膜物质附着到所述处理室的内壁，该防附着板由多个分板以各自的端部隔着间隙重叠的方式排列而成，通过叠合部在宽度方向上的相对移动，吸收随着成膜处理产生的热膨胀，所述成膜装置的特征在于，在所述分板的所述叠合部设有凹部，所述凹部使与所述处理区域连通的一侧的间隙比另一侧的间隙大，还包括配置在所述处理室的内部的多个靶和将各个靶之间隔开的隔壁板，所述隔壁板通过将各个端部隔着间隔相对的多个分板用架在该多个分板的端部间的连结罩连结而成，通过所述分板相对所述连结罩进行相对移动，吸收随着成膜处理产生的热膨胀，在所述分板和所述连结罩中的一方设有凹部，该凹部使双方在远离所述相对部的部位的间隙比另一侧的间隙大。