[发明专利]用于形成具有改善的等离子体耐受性的陶瓷涂层的方法和由此形成的陶瓷涂层有效
| 申请号： | 201480075571.X | 申请日： | 2014-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN106029948B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 李文基;金秉基;朴载赫;金大根;李明鲁 | 申请（专利权）人： | IONES株式会社 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一个实施方式涉及用于形成具有粒度改善的等离子体耐受性的陶瓷涂层的方法及由此形成的陶瓷涂层。本发明公开了用于形成具有改善的等离子体耐受性的陶瓷涂层的方法及由此形成的陶瓷涂层，该方法包括如下步骤：从粉末供给部分接收具有第一粉末粒度范围的多个陶瓷粉末，并利用输送气体输送该粉末；以及使输送的陶瓷粉末以100至500m/s速度碰撞处理室中的基板以被粉碎而形成涂层，其中多个第一陶瓷颗粒在第一涂层粒度范围内且多个第二陶瓷颗粒在第二涂层粒度范围内，第二涂层粒度范围大于第一涂层粒度范围，其中第一颗粒的第一陶瓷涂层粒度范围为200nm至900nm，且其中第二颗粒的第二陶瓷涂层粒度范围为900nm至10μm。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 具有 改善 等离子体 耐受 陶瓷 涂层 方法 由此 | ||
【主权项】：
一种具有增强的等离子体耐受性的陶瓷涂层的形成方法，所述形成方法包括：从粉末供给单元接收包含多个陶瓷粉末颗粒的陶瓷粉末，并利用输送气体输送所述陶瓷粉末，所述陶瓷粉末具有陶瓷粉末粒度范围；和使输送的陶瓷粉末以100至500m/s速度碰撞处理室中提供的基材，然后被粉碎并形成陶瓷涂层，所述陶瓷涂层具有混合存在于其中的多个第一陶瓷颗粒和多个第二陶瓷颗粒，所述多个第一陶瓷颗粒具有第一涂层粒度且所述多个第二陶瓷颗粒具有第二涂层粒度，其中所述第一陶瓷颗粒的第一涂层粒度的范围为200nm至900nm，且所述第二陶瓷颗粒的第二涂层粒度的范围为900nm至10μm。
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