[发明专利]用于确定基本圆柱形镜面反射表面的形状的方法有效
申请号: | 201480075763.0 | 申请日: | 2014-12-16 |
公开(公告)号: | CN106029585B | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | S·Y·波塔潘科 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | C03B17/00 | 分类号: | C03B17/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐鑫 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 用于确定基本圆柱形镜面反射表面的形状的方法包括如下步骤:获得校准数据,以及获得关于目标结构的目标数据,其中,目标结构包括空间频率式样。该方法还包括如下步骤:俘获目标结构在镜面反射表面中的反射图像,以及从反射图像获得反射数据。该方法还包括如下步骤:确定目标数据和反射数据之间的对应性,以及使用对应性和校准数据来确定镜面反射表面的形状。 | ||
搜索关键词: | 用于 确定 基本 圆柱形 反射 表面 形状 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于确定基本圆柱形镜面反射表面的形状的方法,所述方法包括以下步骤:(I)获得校准数据;(II)获得关于目标结构的目标数据,其中,所述目标结构包括空间频率式样,所述空间频率式样包括频率,所述频率以基本垂直于所述镜面反射表面的所述母线的方向单调变化;(III)俘获所述目标结构在所述镜面反射表面中的反射图像;(IV)从所述反射图像获得反射数据;(V)确定所述目标数据与所述反射数据之间的对应性;以及(VI)使用所述对应性和所述校准数据来确定所述镜面反射表面的形状。
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