[发明专利]用于光学检查的非成像相干的行扫描仪系统和方法

摘要

公开了用于测量透明片材中的至少一个缺陷的非成像相干的行扫描仪系统。所述系统包括产生相干的发散的激光线光束的激光器系统以及从中形成准直的激光线光束的圆柱形的光学系统。可移动支撑件支撑并且移动所述透明片材，从而在扫描期间所述准直的激光线光束扫描所述透明片材并且通过所述透明片材的一部分和至少一个缺陷。行扫描传感器系统接收传输的准直的激光线光束以及由缺陷重新定向的光束部分。结果是干涉图像具有代表透明物体中的至少一个缺陷的至少一个相干缺陷特征。

主权项

一种非成像相干的行扫描仪系统，用于测量具有前后表面的透明片材中的至少一个缺陷，所述系统沿着光轴依次包括：激光器系统，在沿着所述光轴的方向上产生相干的发散的激光线光束；圆柱形的光学系统，沿着所述光轴设置并且接收所述发散的激光线光束并从中形成准直的激光线光束；可移动支撑件，设置成邻近所述圆柱形的光学系统并且位于所述圆柱形的光学系统的下游，并且所述可移动支撑件适合于支撑所述透明片材并且相对于所述准直的激光线光束移动所述透明片材，从而当所述透明片材在通常垂直于所述光轴的方向上平移时，所述准直的激光线光束穿过所述透明片材的一部分和所述至少一个缺陷；以及行扫描传感器系统，沿着所述光轴设置并且位于所述可移动支撑件的下游，以便接收传输通过透明物体且通过所述至少一个缺陷的所述准直的激光线光束，从而产生具有代表所述透明物体中的至少一个缺陷的至少一个相干缺陷特征的干涉图像。