[发明专利]用于化学机械平坦化的金属氧化物-聚合物复合颗粒有效
| 申请号： | 201480076145.8 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN106103615B | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | B.G.普雷沃;M.J.汉普登-史密斯;D.福米特切夫;Y.E.库特索夫斯基 | 申请（专利权）人： | 卡博特公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/304;C09G1/18 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉;邢岳 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | CMP工艺、工具和浆料利用了包括金属氧化物颗粒和聚合物芯的金属氧化物‑聚合物复合颗粒。所述金属氧化物颗粒经改性试剂改性且部分或完全地埋置在所述聚合物芯内。采用这些工艺、工具和浆料能够相对于可比较的体系和基材而增强移除速率、降低缺陷率并提高清洁能力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 平坦 金属 氧化物 聚合物 复合 颗粒 | ||
【主权项】：
1.用于通过化学和研磨作用从基材移除材料的工艺，所述工艺包括：使用抛光垫或浆料组合物，从基材移除材料以产生经处理的表面，其中，所述抛光垫、或所述浆料组合物、或者这两者包括包含多个金属氧化物颗粒和聚合物芯的金属氧化物‑聚合物复合颗粒，其中：所述金属氧化物颗粒经双官能改性试剂改性，所述金属氧化物颗粒经由所述改性试剂共价连接至所述聚合物芯中的所述聚合物，而且一部分所述金属氧化物颗粒部分地埋置在所述聚合物芯内并且从所述聚合物芯突出出来。
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