[发明专利]用于DNA测序的自对准和可缩放的纳米间隙后处理有效
| 申请号： | 201480076418.9 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN106029907B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | O·H·埃利博尔 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | C12Q1/6869 | 分类号： | C12Q1/6869;G01N33/48 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种装置，包括：电路衬底，所述电路衬底包括金属层中的接触部；以及换能器，所述换能器包括第一电极和第二电极，所述第一电极设置在所述接触部的侧壁上并且耦合到所述接触部的侧壁，所述第二电极耦合到导体，可以通过所述导体施加电压，其中，所述第二电极包括与所述接触部的所述侧壁对准并且与所述第一电极分隔开间隙的轮廓。一种方法，包括：形成与衬底上的金属层中的接触部相邻的换能器，所述换能器包括第一电极和第二电极，所述第一电极设置在所述接触部的侧壁上，所述第二电极耦合到导体，可以通过所述导体施加电压，其中，所述第二电极包括与所述接触部的所述侧壁对准并且与所述第一电极分隔开间隙的轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 dna 对准 缩放 纳米 间隙 处理 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：电路衬底，所述电路衬底包括金属层中的接触部；以及换能器，所述换能器包括第一电极和第二电极，所述第一电极设置在所述接触部的侧壁上并且耦合到所述接触部的侧壁，所述第二电极耦合到导体，电压能够通过所述导体施加，其中，所述第二电极包括与所述接触部的所述侧壁对准并且与所述第一电极分隔开一间隙的轮廓。
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