[发明专利]用于旋转式目标的末端块以及小于大气压的压力下的收集器和转子之间的电连接有效
| 申请号： | 201480077077.7 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106463325B | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 吉尔贝特·加兰;让-菲利普·乌泽尔丁;盖伊·科曼斯;马塞尔·施洛雷贝格 | 申请（专利权）人： | 佳殿欧洲责任有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;H01J37/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 陈鹏;李静 |
| 地址： | 卢森堡*** | 国省代码： | 卢森堡;LU |
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| 摘要： | 提供一种用于旋转式溅射目标(1)的末端块(4)，例如，旋转式磁控溅射目标。溅射装置包括一个或多个末端块，电触头(例如导电刷)(18)则定位在真空区域(8)(相对于大气压下的区域(9))的末端块中的收集器(20)和转子(22)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 旋转 目标 末端 以及 小于 大气压 压力 收集 转子 之间 连接 | ||
【主权项】：
1.一种溅射装置，包括：至少一个末端块，用来支撑圆柱形的旋转式溅射目标的一端，所述末端块包括固定的导电收集器，以及在溅射操作期间与圆柱形的所述溅射目标一起旋转的旋转式导电转子；所述末端块还包括电力传输结构，位于所述固定的导电收集器和所述旋转式导电转子之间，使电力从所述固定的导电收集器传输至所述旋转式导电转子；第一冷却区域，液体流动穿过其中，用来冷却所述固定的导电收集器，所述第一冷却区域位于所述固定的导电收集器的至少一部分周围，并与所述固定的导电收集器为同轴；第二冷却区域，与所述第一冷却区域分开，液体流动穿过其中，用来冷却所述旋转式导电转子和溅射目标，所述第二冷却区域至少部分地被所述旋转式导电转子包围，且其中，所述第二冷却区域中的所述液体至少以基本平行于所述旋转式导电转子和溅射目标所旋转的轴的一个方向流动；其中，所述第一冷却区域中的所述液体围绕所述旋转式导电转子和溅射目标所旋转的所述轴流动；且其中，溅射操作期间，所述电力传输结构、所述旋转式导电转子、和所述固定的导电收集器，分别位于压力小于大气压的真空区域内。
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