[发明专利]油扩散泵和用于该油扩散泵的油蒸气产生器有效
| 申请号： | 201480077167.6 | 申请日： | 2014-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN106104009B | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 税所慎一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社新柯隆 |
| 主分类号： | F04F9/00 | 分类号： | F04F9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,黄纶伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种油扩散泵，其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵，其中，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去而对吸入气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具备在立起设置方向上延伸的筒状的外壳(71)(被加热体)；隔着绝缘材料(73)缠绕在筒部件(71)的周围的感应线圈(75)；以及对感应线圈(75)施加交流电的供电单元。外壳(71)和感应线圈(75)以浸渍于储存在壳体(51)内的工作油(8)中的配置被组装于壳体。并且，构成为，通过使供电单元工作而对感应线圈(75)施加交流电，由此使外壳(71)自身加热，从而使工作油(8)气化。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 用于 蒸气 产生器 | ||
【主权项】：
一种油扩散泵，在配置于该油扩散泵的壳体内的喷射器内配置有油蒸气产生器，通过使该油蒸气产生器工作来加热工作油从而产生油蒸气，将喷射器内的油蒸气从喷射器喷射出去而对吸入气体进行高真空排气动作，其特征在于，所述油蒸气产生器具备：被加热体；感应线圈，其电绝缘地配置在该被加热体的附近；以及供电单元，其对该感应线圈施加交流电，所述被加热体和感应线圈以一部分或全部浸渍于储存在壳体内的工作油中的配置被组装于壳体，所述油扩散泵构成为，通过使所述供电单元工作来使所述被加热体加热，从而使所述工作油气化。
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